气体切换模块n吹扫达不到设定值[错误代码:2348 2349]

原因¶

由于压力控制错误(泄漏到外部)，压力无法上升到设定值。

措施¶

请确认气体有正常供给，气路连接部分没有泄漏。根据泄漏的程度和压力设置，可能会在吹扫模块之外的部分发生泄漏。